为长冲击和高分辨率定位而设计,建模和实验表征一个压电粉虫驱动器
Xin Li1,2,3, Zijian Jing1,2, Jin Wang4,5,6
1State Key Laboratory of Optical Field Manipulation Science and Technology, Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China.
Micromachines
|February 27, 2026
概括
一个新的执行器提供了大冲动步进和高分辨率扫描模式. 这种创新设备的最大速度为367微米/秒,分辨率为0.02微米.
科学领域:
- 机械工程 机械工程
- 机器人技术 机器人技术 机器人技术
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 传统的执行器在同时实现大冲动和高分辨率方面经常面临限制.
- 对于需要精确和多功能运动控制的应用,先进的执行器的开发至关重要.
研究的目的:
- 介绍和描述一种新的双模式执行器.
- 为了证明执行器对于大冲击运动积累和高分辨率扫描的能力.
- 通过理论建模,模拟和实验测试来验证设计.
主要方法:
- 执行器机械结构的理论建模和分析.
- 对于优化紧和驱动单元的有限元模拟分析.
- 一个原型执行器的制造.
- 实验测试以确定性能指标,如速度和分辨率.
主要成果:
- 拟议的执行器集成了步进和扫描模式,以实现多功能操作.
- 理论和模拟分析为紧和驱动单元的设计提供了依据.
- 实验结果证实了执行器的性能.
- 实现了367微米/秒的最大运行速度.
- 显示了0.02微米的高分辨率.
结论:
- 新型双模式执行器成功地结合了大冲程和高分辨率功能.
- 设计方法,整合理论建模和有限元分析,是有效的.
- 制造的原型验证了执行器在先进的运动控制应用中的潜力.
