双通道单频谱仪色彩共聚焦连贯度传感器,以减轻薄膜厚度和折射率测量的带宽压缩

Optics letters
|February 27, 2026
PubMed
概括

一个新的双通道传感器增强了薄膜厚度和折射率测量. 这种色彩共聚焦相干传感器可以提高光学厚度分辨率的十倍,而不会增加复杂性.