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Zilai Wang1, Naibo Zhang2,3,4, Yiran Zhang1
1School of Electronic Engineering, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing, 100876, China.
微电子机械系统 (MEMS) 执行器正在通过小型化和高性能彻底改变太赫兹设备. 本综述详细介绍了太赫兹MEMS执行器在6G通信和成像等应用中的进展.
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