使InCpH 2 O/O 2 2In 2 O 3

Sumin An1, Sanghyuk Lee1, Il-Kwon Oh2

  • 1Department of Materials Science and Engineering, Incheon National University, 8-372, Yeonsu-gu, 22012, Korea (the Republic of).

Nanotechnology
|March 4, 2026
PubMed
概括

这项研究揭示了氧 (O2) 和水 (H2O) 如何一起工作,通过原子层沉积 (ALD) 沉积氧化 (In2O3) 膜. 它们的联合作用确保了完整的氧化,以实现高效的薄膜生长.