概括
一个新的混合计量学准确地测量了长X射线镜中的功率-x项. 这种方法克服了传统接干扰测量的局限性,提高了极端X射线光学的精度.
科学领域:
- 光学和光学计量学 在光学和光学计量学.
- 表面的表征表征 表面的表征
- 射线光学X射线光学
背景情况:
- 剪转自校准接干扰测量与长X射线平面镜中的午线功率x项作斗争.
- 传统的接放大了剩余功率误差,损害了极端X射线光学的准确性.
研究的目的:
- 开发一种混合计量方法,准确地表征长X射线平面镜的表面.
- 为了解决自我校准接干扰仪在恢复功率-x术语方面的局限性.
主要方法:
- 一种混合绝对计量学,将全场牧场发生率绝对测试与功率-x项相结合.
- 二维自校准接,用于高分辨率确定剩余的表面组件.
主要成果:
- 混合战略成功地消除了功率术语的模糊性,并防止了错误放大.
- 重建一个300x60mm镜面的表面显示了0.75nm PV和0.07nm RMS的重复性.
- 在亚纳米水平上,与斜率分析仪达成了中央配置协议.
结论:
- 经过证明的混合绝对计量学为长X射线光学的精确表面计量学提供了强大的解决方案.
- 这种方法通过直接测量功率-x项和利用其他表面特征的高分辨率拼接来提高准确性.
