在铜电子沉积中,表面粗度和晶体定向之间的权衡通过高度的凝来进行沉积

Yitao Zheng1, Peng Xu1, Jingsha Tan1

  • 1School of Chemical Engineering and Technology, Sun Yat-sen University, Zhuhai 519082, China.

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概括

为了实现5G/6G的光滑, (111) 导向的铜很难. 将凝添加到电沉积添加剂中会产生"高N/低D"模式,显著降低粗度,但随机化晶体方向.