六甲基酸复合物与18-皇冠-6以太作为分子和无机膜的挥发性前体:热和结构见解

Danil V Kochelakov1, Evgeniia S Vikulova1, Dina B Kayumova2

  • 1Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, 3 Lavrentiev Ave., 630090 Novosibirsk, Russia.

概括

研究人员开发了一种新型的挥发性复合物,K 18 C 6 Hfac),用于合成功能性材料. 这种独特的前体可以通过金属有机化学蒸汽沉积 (MOCVD) 来产生含的薄膜.