适应性增强学习用于光刻优化:用于下一代半导体制造的可扩展AI驱动的解决方案

Umar Rashid1,2, Fahad Shafique1, Hamza Atif1

  • 1Department of Electrical Engineering, University of Engineering and Technology, New Campus, Lahore, Pakistan.

Scientific reports
|March 16, 2026
PubMed
概括

适应性增强学习以优化石版 (ARLO) 通过减少图案错误来增强半导体石版. 这种人工智能方法优化了用于亚纳米集成电路制造的光罩,提高了精度和效率.