在 (001) 表面上的纳米晶体的形状转换从金字塔到圆顶
Medeiros-Ribeiro1, Bratkovski, Kamins
1Hewlett-Packard Laboratories, 3500 Deer Creek Road, Mail Stop 26U, Palo Alto, CA 94304-1392, USA.
概括
在表面上生长的纳米晶体产生了两种不同的尺寸. 较小的金字塔由于尺寸依赖的能量最小值,突然转变为更大的圆顶.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 表面科学是一门学科.
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 在 (Si) 表面上形成 (Ge) 纳米晶体对于先进的电子设备至关重要.
- 之前的研究表明Ge/Si () 纳米晶体的双模尺寸分布.
- 了解生长机制和形态过渡是控制纳米晶体特性的关键.
研究的目的:
- 研究 (001) 表面上的纳米晶体的生长动态和形态演变.
- 为了阐明观察到的双模体尺寸分布背后的原因.
- 开发一个模型来解释生长过程中形状的突然变化.
主要方法:
- 化学蒸气沉积 (CVD) 和物理蒸气沉积 (PVD) 用于沉积.
- 在大气压和超高真空条件下进行了实验.
- 现场扫描道显微镜 (STM) 用于实时观察纳米晶体的演变.
主要成果:
- 一致地观察到纳米晶体大小的双模分布 (小到6nm,大~15nm).
- 发现较小的,以方形为基础的金字塔纳米晶体突然转变为更大,多面积的圆顶.
- 很少有中等大小或形状的结构存在,这表明了明显的过渡.
- 对于这两种形状,确定了由应变松和边缘应力影响的大小依赖的能量最小值.
结论:
- 从金字塔到圆顶的突然形态变化是由热力学因素驱动的,类似于相位过渡.
- 侧面应变放松和边缘应力度之间的相互作用决定了纳米晶体的形状和稳定性.
- 这项研究提供了一个热力学模型,解释了观察到的纳米晶体生长和形态过渡.


