用光学静止波定位元稳定原子束:在海森堡极限的纳米石墨学

Johnson1, Thywissen, Dekker

  • 1Department of Physics, Harvard University, Cambridge, MA 02138, USA.

Science (New York, N.Y.)
|June 11, 1998
PubMed
概括

研究人员在光学静止波中使用了超稳定的原子,在和二氧化表面上创建精确的图案. 这种量子光刻技术实现了0.1微米以下的分辨率,用于先进的纳米制造.