Reaction of trimethylchlorosilane in spin-on Silicalite-1 zeolite film

Salvador Eslava1, Stephane Delahaye, Mikhail R Baklanov

  • 1IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium, Centrum voor Oppervlaktechemie en Katalyse, Katholieke Universiteit Leuven, Kasteelpark Arenberg 23, 3001 Leuven, Belgium.