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Magnetic Flux01:18

Magnetic Flux

The magnetic flux measures the number of magnetic field lines passing through a given surface area. The SI unit for magnetic flux is the weber (Wb). Magnetic flux is a scalar quantity. It depends on three factors: the strength of the magnetic field B, the area through which the field lines pass, and the relative orientation of the field with the surface area.
Suppose a surface is divided into elements of area dA. For each element, the component of the magnetic field that is normal to the...

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Sensor de flujo ortogonal fabricado con película amorfa de CoZrNb

Kyung-Won Kim1,2, Sung-Min Hong2, Daesung Lee2

  • 1Department of Material Science and Engineering, Korea University, Seoul 02841, Republic of Korea.

Sensors (Basel, Switzerland)
|August 28, 2025
PubMed
Resumen

Los investigadores desarrollaron pequeños sensores de porta de flujo ortogonales utilizando películas CoZrNb. Estos micro sensores miden efectivamente la Tierra

Palabras clave:
Película amorfa de CoZrNbFabricación en microescalaPuerta de flujo ortogonalsensibilidad

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Área de la Ciencia:

  • Ciencias de los materiales
  • Ingeniería eléctrica
  • Tecnología de sensores

Sus antecedentes:

  • Los sensores de porta de flujo ortogonales son cruciales para la medición del campo magnético.
  • La miniaturización de los sensores es esencial para aplicaciones avanzadas.
  • Las películas magnéticas amorfas ofrecen propiedades únicas para la fabricación de sensores.

Objetivo del estudio:

  • Para fabricar sensores de portón de flujo microortogonales utilizando películas amorfas de CoZrNb.
  • Para optimizar los procesos de fabricación y el rendimiento del sensor.
  • Para investigar las características del sensor para la medición del campo magnético de la Tierra.

Principales métodos:

  • Fabricación de microsensores (1,5 mm × 0,5 mm) con películas amorfas de CoZrNb.
  • Optimización de los parámetros de pulverización y deposición (ángulo de pulverización, rotación del sustrato).
  • Aplicación de la capa de adhesión Ta y tratamiento superficial con plasma O2.
  • El recocido al vacío a 300 °C con un campo magnético de 500 Oe.
  • Investigación cuantitativa de los efectos de la frecuencia de funcionamiento y de la anchura del conductor.

Principales resultados:

  • Se han fabricado con éxito sensores de portón de flujo microortogonales.
  • Superó desafíos como la cobertura de escalones pobres y la delaminación.
  • Logró un rendimiento óptimo a través del recocido al vacío, mejorando la suavidad magnética y la anisotropía.
  • Se obtiene una coercitividad muy baja (0,1 Oe) y una estructura amorfa estable.
  • Se registró una sensibilidad máxima de 0,98 mV/ Oe (9,8 V/ T).

Conclusiones:

  • Los sensores de portón de flujo ortogonal miniaturizados se pueden fabricar utilizando películas amorfas de CoZrNb.
  • Los sensores desarrollados son adecuados para el embalaje de múltiples chips.
  • Estos sensores demuestran el potencial para medir el campo magnético de la Tierra.