基于微球的微传感器用于微型电机的振动测量.
Kaichuan Xu1, Chunlei Jiang2, Qilu Ban1
1Key Laboratory of Intelligent Optical Sensing and Manipulation of the Ministry of Education, National Laboratory of Solid State Microstructures, Engineering Research Center of Precision Photonics Integration and System Application of the Ministry of Education, College of Engineering and Applied Sciences, Institute of Optical Communication Engineering, Nanjing University-Tongding Joint Lab for Large-Scale Photonic Integrated Circuits, Nanjing University, Nanjing 210023, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|November 25, 2023
概括
这项研究引入了一种新的微球微传感器,用于在狭窄的空间测量微型电机轴 (MMS) 振动. 该设备使用光子纳米网,以高精度精确检测振动.
科学领域:
- 光学工程是指光学工程.
- 机械工程 机械工程
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 精确的振动测量对于微型电机诊断至关重要.
- 现有的传感器面临着狭窄空间和精度的局限性.
研究的目的:
- 开发一个小型微传感器用于微型电机轴 (MMS) 振动测量.
- 为了利用光子纳米网 (PNJ) 增强传感能力.
主要方法:
- 一个微传感器由拉伸的纤维和一个5μm的微球组成.
- 产生光子纳米网,以便在MMS上精确聚焦和增强光线.
- 两个微传感器用于同时测量轴向和辐射振动.
- 校准是使用标准振动源进行的.
主要成果:
- 微传感器精确地将光聚焦在MMS表面上,超过了衍射极限.
- 实现了轴向和辐射振动的同时测量.
- 校准表明测量误差低于1.5%.
结论:
- 基于微球的微传感器有效地测量了狭窄空间中的MMS振动.
- 该PNJ现象使得高精度,增强的光学检测.
- 该技术对小型电机诊断中的工业应用具有前景.
