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Chao Shen1,2, Wenkang Zhan3,2, Jian Tang4
1School of Physics Science and Technology, Xinjiang University, Urumqi, Xinjiang 830046, China.
本研究介绍了一种使用视觉变压器的AI模型,用于半导体制造中的自动化基板脱氧化. 这种机器学习方法在各种设备和材料中标准化了关键脱氧过程.
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主要成果:
结论: