概括
一种新的横向多转移测量方法消除了Fizeau干扰仪对X射线镜子的测量中的参考镜误差. 该技术实现了绝对2D表面映射的亚纳米重复性.
科学领域:
- 光学计量学是指光学计量学.
- 表面表征表征表征的表征表征.
- 一个X射线光学.
背景情况:
- 菲泽奥干扰仪对于测量X射线镜子至关重要,但存在参考镜 (REF) 错误.
- 由于这些固有的错误,高比例X射线镜的精确测量具有挑战性.
- 现有的方法很难在没有REF校准的情况下提供绝对的2D表面图.
研究的目的:
- 介绍Fizeau干扰计的新型参考校准方法.
- 为了消除X射线镜面测量中的参考镜面错误.
- 为了实现X射线镜的绝对二维表面映射.
主要方法:
- 引入了几百微米像素级的横向多变速测量技术.
- 扩展校准使用测试面 (SUT) 的多次移位测量之间的差异.
- 构建了一个增强的多矩阵来提取绝对的二维表面,适用于任意测量区域.
- 通过毫米尺度的移动得到的接参考减去的子孔径,用于完整的2D地图重建.
主要成果:
- 在实验结果中的所有2D差异中实现了亚纳米重复性.
- 在一个单一的过程中,证明了对基准分光圈和REF的同时测量和校准.
- 通过与长轨迹分析师 (LTP) 的比较来验证该方法.
结论:
- 提出的横向多轮换方法有效地消除了Fizeau干涉测量的参考镜误差.
- 该技术为X射线镜子提供了准确的绝对二维表面映射.
- 该方法符合X射线镜像计量学的严格要求.
