高性能接触合 WSe 晶体管使用 TaSe 电极
Bingjie Liu1, Xiaofei Yue1, Chenxu Sheng1
1School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China.
ACS applied materials & interfaces
|April 9, 2024
概括
研究人员通过降低接触电阻,优化了 tungsten diselenide (WSe2) 场效应晶体管 (FET). 这一突破提高了下一代设备的2D电子性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 凝聚物质物理学 凝聚物质物理学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 二维 (2D) 过渡金属二甲基化物 (TMD) 对下一代电子产品具有前景.
- 接触电阻显著阻碍了基于TMD的场效应晶体管 (FET) 的性能.
研究的目的:
- 开发一种有效的战略,以优化WSe2 FET中的接触电阻.
- 为了提高2D FET的电性能.
主要方法:
- 用激光处理和2D金属TaSe2电极对WSe2进行联合接触注.
- 制造的WSe2 FETs具有多的接触区域和堆叠的TaSe2片.
主要成果:
- 达到了65 meV的超低的Schottky屏障高度.
- 接触电阻降低到11kΩ·μm,比传统的Cr/Au接触器提高了50倍.
- 证明了WSe2 FETs显著增强的电气性能.
结论:
- 接触兴奋剂和二维金属电极有效地降低了WSe2 FET中的接触电阻.
- 这种方法为制造高性能2D FET提供了可行的途径.


