4X线使

Tomas Aidukas1, Nicholas W Phillips2,3, Ana Diaz2

  • 1Paul Scherrer Institute, Villigen, Switzerland. tomas.aidukas@psi.ch.

Nature
|July 31, 2024
PubMed
概括

这项研究引入了爆发式图像学和断层背向传播重建,用于高分辨率的非破坏性3D成像. 这种新方法实现了4纳米的分辨率,使集成电路等复杂纳米结构的详细分析成为可能.