立体双远程中心相位测量偏移计

科学领域:

• 光学计量学 在光学计量学
• 计算机视觉 计算机视觉
• 精密工程 精密工程是指精密的工程.

背景情况:

• 传统的使用内心透镜的相位测量衍射计 (PMD) 需要复杂的校准.
• 在PMD中的双电心镜头提供了减少扭曲和提高精度,但需要使用微定位阶段进行繁的外部参数校准.
• 现有的双遥中心PMD校准方法耗时且限制了灵活性.

研究的目的:

• 开发一种简化,灵活和高效的校准解决方案,用于立体双远心相位测量偏移计 (PMD).
• 为了提高测量准确度和精确度在3D表面计量使用双远心PMD.
• 为了消除对双远心镜头校准中微定位阶段的需求.

主要方法:

• 一种新的校准方法,只使用一个平面镜子在三种姿势的立体双远心PMD.
• 采用校准残留物,通过双立方赫米特插值构建反扭曲图,以准确定位.
• 实施整体和灵活的校准策略,以优化外部参数.

主要成果:

• 在100毫米×100毫米×200毫米的体积内,达到3.5微米的测量精度 (高峰到低谷).
• 在不限制样品放置的情况下,证明了各种表面的可靠测量结果.
• 与传统方法相比,大大降低了校准复杂性和时间.

结论:

• 拟议的校准方法为立体双远心PMD系统提供了强大而高效的解决方案.
• 该技术提高了测量精度和准确性,使其适用于各种表面计量应用.
• 这种方法简化了校准过程,提高了先进光学计量学的实用性和可访问性.