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Nick Feldman1,2, Kian M M Goeloe1, Arie J den Boef2,3,4
1Department of Information in Matter and Center for Nanophotonics, AMOLF, Science Park 104, 1098 XG Amsterdam, The Netherlands.
这项研究引入了一种新的纳米级移位传感平台,使用衍射超表面和极度里埃显微镜. 它实现了对纳米位移的高精度测量,这对于半导体制造至关重要.
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主要成果:
结论: