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1State Key Laboratory for Silicon and Advanced Semiconductor Materials, School of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou, Zhejiang 310027, PR China; Jihua Laboratory, Foshan, Guangdong 528200, PR China.
一种新的自我调整的保护屏蔽方法在聚焦离子束 (FIB) 准备用于传输电子显微镜 (TEM) 期间保护光束敏感的纳米结构. 这种技术可以防止离子束损伤,确保微电机系统 (MEMS) 设备的高质量标本.
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