概括
本研究介绍了一种新的方法,利用有效指数 (neff) 和组指数 (ng) 来从在绝缘体 (SOI) 条形波导中提取尺寸. 该技术使用单一的高阶马赫-泽恩德干扰仪 (MZI) 进行精确的波导特征.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学工程是指光学工程.
背景情况:
- 在绝缘体 (SOI) 带波导是光子学中的关键组件.
- 准确地描述波导尺寸对于设备性能至关重要.
- 现有的维度提取方法可能很复杂或需要多次测量.
研究的目的:
- 引入一种用于提取SOI带波导的几何维度的新方法.
- 确定有效指数 (neff) 和组指数 (ng) 使用来自单个高阶马赫-泽恩德干扰仪 (MZI) 的光谱数据.
- 开发一种创新的绘图模型,将波导体几何学与neff和ng联系起来,提高准确性和简化过程.
主要方法:
- 新维度提取方法的实验演示.
- 使用来自单个高阶MZI的光谱数据来确定neff和ng.
- 开发和应用一款用于波导尺寸-neff/ng相关性的创新映射模型.
主要成果:
- 在IMEC的iSiPP50G平台上制造的SOI带波导中成功提取尺寸.
- 一个创新的映射模型的演示,该模型准确地将波导体几何与neff和ng.
- 阐明使用单个高级MZI用于光传输测量的可行性和限制.
结论:
- 拟议的方法提供了一个准确和简化的方法,用于SOI波导尺寸提取.
- 创新的映射模型增强了几何参数和光学索引之间的相关性.
- 该研究强调了参数提取错误的影响,为未来的研究提供了宝贵的见解.


