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Fu-Cheng Wang1, Yan-Teng Chang1, Ming-Hsiang Chang1
1Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan.
本研究介绍了用于精密长途阶段的先进控制策略,集成电机和压电变频器 (PZT) 系统. 这些创新为微型制造任务提供了nm级精度.
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