纳米光子波导芯片到世界的光束扫描
Matt Saha1, Y Henry Wen2,3, Andrew S Greenspon1,4
1The MITRE Corporation, Bedford, MA, USA.
Nature
|March 12, 2026
概括
研究人员开发了一种光子滑雪跳跃,这是一种用于可扩展的二维光束扫描的新型设备. 这一突破使得高速光学应用成为可能,因为它克服了集成光学当前技术的局限性.
科学领域:
- 光子学和集成光学技术.
- 纳米技术 纳米技术
- 量子信息科学 量子信息科学
背景情况:
- 当前的光束扫描技术面临着可扩展性和光束质量之间的权衡.
- 光子集成电路上的衍射光学提供了可扩展性,但其模式质量不佳.
- 微机械扫描仪提供高质量的光束,但缺乏可扩展的集成.
研究的目的:
- 为了克服当前光束扫描技术的局限性.
- 开发一个可扩展的,高性能光子接口,用于芯片到世界的应用.
- 为了实现光学测距,显示,通信,计算和量子信息科学的进步.
主要方法:
- 一个光子滑雪跳跃的开发:纳米级的波导集成在一个压电悬臂上.
- 使用体积互补金属氧化物半导体 (CMOS) 造厂制造.
- 展示了外平面卷曲,衍射有限光束的发射,以及高Q的机械共振.
主要成果:
- 光子滑雪跳跃在0.1mm2以下的足迹中实现了可扩展的二维光束扫描.
- 经过足迹调整的现场率为68.6M点/秒/mm2,超过MEMS镜子的50倍以上.
- 启用全彩图像/视频投影和单光子初始化/读取.
- 64个滑雪跳跃阵列的统一性显示了千赫兹速率的千兆点分辨率的潜力.
结论:
- 光子滑雪跳跃为2D光束扫描提供了一个可扩展的解决方案,克服了现有的权衡.
- 这项技术使集成光子处理器和自由空间世界之间实现无光学管道.
- 为各种科学技术领域的高分辨率,高速光学系统铺平了道路.


