CMOS Compatible Hydrogen Sensor Using Platinum Gate and ALD-Aluminum Oxide

Adham Elshaer1,2, Serge Ecoffey1,2, Abdelatif Jaouad1,2

  • 1Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique (3IT), Université de Sherbrooke, 3000 Boul. Université, Sherbrooke, QC J1K 0A5, Canada.