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ABC

Joona Bang1, Seung Hyun Kim, Eric Drockenmuller

  • 1Department of Chemical and Biological Engineering, Korea University, Seoul 136-713, Republic of Korea.

まとめ

トリブロックコポリマーは,自己組織化して,ナノ孔状の配列を形成します. 光分解性ミッドブロック (PMMA) を使用すると,高度なリトグラフィーのための非常に規則的で欠陥のない薄膜が作られます.

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