对光学元件的时间控制磨削移除功能的建模和实验验证
Fulei Chen1,2,3, Xiaoqiang Peng1,2,3, Zizhou Sun1,2,3
1College of Intelligent Science and Technology, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China.
Micromachines
|July 29, 2023
概括
使用磨带的时间控制研磨 (TCG) 可实现光学元件的确定性加工. 这种方法建立了可控制的移除功能,提高了大直径光学器件的表面精度和粗度.
科学领域:
- 光学和材料科学 材料科学
- 精密工程 精密工程是指精密的工程.
- 制造业 制造技术 制造技术
背景情况:
- 磨皮带研磨对于机械部件是有效的,但对于超精确的光学处理缺乏控制.
- 确定性加工需要稳定和可预测的材料去除功能.
研究的目的:
- 用磨带进行时间控制磨削 (TCG),用于光学元件的确定性加工.
- 开发和验证TCG移除函数的理论模型.
主要方法:
- 建立了基于普雷斯顿方程的TCG移除函数的理论模型.
- 进行了去除函数实验以验证理论模型.
- 在200mm × 200mm平面玻璃陶上进行了理论和实验性塑造.
主要成果:
- 玻璃陶的表面形状误差从6.497微米PV / 1.318微米RMS汇聚到5.397微米PV / 1.115微米RMS.
- 表面粗度从271nm Ra提高到了143nm Ra.
- 实验结果显示与理论模型有很强的一致性.
结论:
- 开发的移除函数模型有效指导TCG塑造实验.
- TCG证明了大直径光学元件的决定性加工潜力.
- 这种方法提高了光学制造中的精度和可控性.
