对MoCl5,MoOCl4和MoO2Cl2蒸汽的紫外可见吸收光谱学
Berc Kalanyan1, James E Maslar1
1Material Measurement Laboratory, National Institute of Standards and Technology (NIST), 100 Bureau Drive., Gaithersburg, Maryland 20899, United States.
这项研究量化了五化物 (MoCl5) 和其氧化的蒸汽相吸收光谱. MoCl5表现出独特的光谱指纹,使其能够在可见波长中与相关化合物区分开来.
科学领域:
- 物理化学 物理化学
- 频谱学是一种光谱学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 了解化合物的光谱特性对于它们在材料科学中的应用至关重要.
- 五化 (MoCl5) 是薄膜沉积中的前体,但其光谱特征和蒸汽阶段的纯度尚未确定.
- 区分MoCl5与其氧化 (MoOCl4,MoO2Cl2) 对于工艺控制很重要.
研究的目的:
- 在蒸汽阶段获得MoCl5,MoOCl4和MoO2Cl2的定量吸收光谱.
- 为了识别MoCl5的独特光谱特征,使其与其氧化区分开来.
- 为了研究MoCl5在薄膜沉积相关的表面上的吸附行为.
主要方法:
- 对MoCl5,MoOCl4和MoO2Cl2在蒸汽阶段进行了定量吸收光谱 (45,50015,500厘米-1).
- 测量是在真空系统中进行的,使用快速采样和差分吸收方法来确保准确性.
- 分析包括复制测量,时间解析光谱,吸收-压力曲线和光谱峰值匹配.
主要成果:
- 对于MoCl5蒸汽在120°C时获得可重现的光谱反应.
- 分析表明MoCl5样本中不太可能存在HCl和MoOCl4杂质.
- 在28,500厘米-1处,发现了MoCl5独特的光谱指纹,与MoOCl4和MoO2Cl2.2不同.
结论:
- MoCl5表现出明显的可见波长光谱指纹,方便其识别和区分与氧化.
- 该研究提供了一种可靠的方法,用于评估蒸汽相过程中的MoCl5纯度.
- 这些发现支持使用MoCl5作为蒸汽相薄膜沉积中的反应剂.
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