使用电子能量损失光谱与低压扫描传输电子显微镜 (STEM-EELS) 的元素定量
Nicolas Dumaresq1, Nicolas Brodusch1, Stéphanie Bessette1
1Department of Materials Engineering, McGill University, Montreal, Quebec, Canada.
低压电子能量损失光谱学 (EELS) 在离子电池化合物等材料中最大限度地减少了电子束损伤. 这种技术使得即使在10 keV时也能够准确量化元素,为无损的材料分析铺平了道路.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 分析化学 分析化学
- 物理 物理学 物理
背景情况:
- 电子束损伤是对光束敏感材料的表征的一个重大挑战,特别是在离子电池研究中.
- 虽然 Cryo-EM 减轻了放射解,但在高加速电压 (200-300 keV) 的传统传输电子显微镜/扫描传输电子显微镜 (TEM/STEM) 中,连续损伤仍然存在.
研究的目的:
- 调查低压电子能量损失光谱 (EELS) 的可行性,用于分析光束敏感材料.
- 评估在电子显微镜分析过程中减少冲击损伤的潜力.
主要方法:
- 在六角化 (h-BN),二化 (TiB2) 和化 (TiN) 样本上进行了电子能量损失光谱 (EELS).
- 使用了 30,20 和 10 keV 的加速电压.
- 使用多线性最小平方 (MLLS) 程序实现了元素量化.
主要成果:
- 标志性元素边缘 (Ti L2,3,NK和BK) 即使在加速电压低至10 keV时也可以成功观察到.
- 对于所有三种样本类型,都获得了精确的元素量化,标准偏差最多为5%.
结论:
- 低压EELS是分析光束敏感材料的有希望的技术,为高压方法提供了可行的替代方案.
- 这种方法代表了朝着在电子显微镜中实现敲击无损分析的重要一步.
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