微科里奥利斯质量流传感器具有大通道直径,通过HNA湿蚀刻实现.

科学领域:

• 微流体学 微流体学
• 传感器技术 传感器技术
• 化学工程是化学工程的重要组成部分.

背景情况:

• 标准表面通道技术 (SCT) 科里奥利斯传感器的流量范围有限.
• 微流体通道设计显著影响传感器性能特征,如流量范围和压力下降.

研究的目的:

• 开发和评估具有扩大流量范围的科里奥利斯质流和密度传感器.
• 研究选择性湿蚀对微流体通道几何和传感器性能的影响.

主要方法:

• 使用选择性湿蚀刻制造悬浮的微流体通道.
• 半圆截面 (200微米宽,70微米深) 的道设计.
• 用水,异醇 (IPA) 和 (N2) 测试传感器性能,以测试质量流量和密度.

主要成果:

• 实现了高达50g/h的水流量范围,比标准SCT传感器 (1.2g/h) 大幅增加.
• 在最大流速下保持1bar的低压下降.
• 证明了各种流体的有效质量流和密度传感能力.

结论:

• 选择性湿蚀使得具有更大的横截面积的微流体通道的创建成为可能,从而提高了科里奥利斯传感器的性能.
• 开发的传感器提供了优越的流量范围,使其适用于更广泛的微流体应用.
• 传感器的性能在不同类型的流体中得到验证,表明其多功能性.