在超临界流体中使用预先组织的模板制备的半孔酸盐
Rajaram A Pai1, Raashina Humayun, Michelle T Schulberg
1Department of Chemical Engineering, University of Massachusetts, Amherst, MA 01003, USA.
Science (New York, N.Y.)
|January 24, 2004
概括
研究人员使用区块共聚合物和超临界二氧化碳制造了订制的半孔酸盐薄膜. 这些薄膜具有低介电常数和强大的机械性能,适合半导体制造.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
背景情况:
- 订购的半孔材料对于先进的应用至关重要.
- 复制复杂的纳米结构具有高保真度仍然是一个挑战.
研究的目的:
- 开发一种新的方法来合成有序的半孔酸盐薄膜.
- 为了在模仿生物矿物化的酸盐结构中实现多层次的秩序.
主要方法:
- 使用微相分离块共聚合物模板.
- 使用超临界二氧化碳进行模板扩张.
- 氧化物的注入和选择性凝结.
主要成果:
- 实现了高准确度,共聚合物形态的3D复制.
- 合成的半孔酸薄膜的介电常数低至1.8.
- 片表现出优良的机械性能,并经历了化学-机械抛光.
结论:
- 开发的工艺使得能够创建具有可调节性质的先进的半孔酸薄膜.
- 这种方法为设备应用提供了制造具有多尺度顺序的材料的途径.
