一种超紫外线-光谱辅助烧结方法,用于玻璃微镜片阵列的制造
Fangyuan Zuo1,2,3, Shenghua Ma2,3,4, Wei Zhao1,2,3
1State Key Laboratory of Photon-Technology in Western China Energy, Xi'an 710127, China.
Micromachines
|November 25, 2023
概括
一种用于制造大型玻璃微镜阵列 (MLA) 的新方法使用紫外线光刻和玻璃颗粒烧结. 这种技术为光学应用提供了比传统的激光制造更快,更可扩展的替代方案.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 玻璃微透镜阵列 (MLA) 由于其光学性能和稳定性,对于光学通信,传感和成像至关重要.
- 目前的制造方法,比如秒激光蚀刻,是缓慢的,对于大数组来说是不可扩展的.
研究的目的:
- 开发一种新的,可扩展的方法来制造大规模的玻璃MLA.
- 为了克服耗时,点对点的激光制造技术的局限性.
主要方法:
- 利用紫外线 (UV) 光刻法在石英基板上创建玻璃颗粒的微柱阵列.
- 采用玻璃颗粒烧结,其中化玻璃通过表面张力自组成凸起的微镜头.
- 优化了烧结参数,以消除气泡和控制焦距.
主要成果:
- 成功制造大型玻璃MLA,可控制的焦距从0.12到0.2毫米不等.
- 通过对玻璃颗粒的受控烧结,证明了凸型微镜的自组装.
- 确定了影响微镜头焦距和阵列图像性能的关键因素.
结论:
- 提出的UV光刻辅助玻璃颗粒烧结方法是生产玻璃MLA的高效和可扩展的方法.
- 这种技术为先进的光学应用提供了现有方法的可行替代方案.
- 进一步的研究证实了对焦距和图像质量的控制.
